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　　實驗室凈化中FFU集成電路設計優點：潔凈室面積可擴大、潔凈等級高、溫濕度控制精度高等多數潔凈室要求環境潔凈度、溫濕度、振動、ESD、AMC控制等。FFU集成電路系統剛好可以最大化滿足這些要求。

　　實驗室凈化按照回風特點分為三個系統：

　　1.FFU循環系統;

　　2.循環空調機配合高效送風口系統;

　　3.循環風機配合濕式密封系統和。

　　FFU集成電路系統的三種類型

　　1.最適合半導體制造業的FFU循環系統

　　FFU循環系統不僅節省運行空間、潔凈度安全性高、運行成本低，而且有很高的操作靈活性，在不影響生產的情況下可以隨時進行系統升級和調整，這些都能很好地滿足半導體制造企業的需求。

　　2.最適合小規模潔凈室的FFU循環系統

　　在小規模低等級要求的實驗室凈化設計中被廣泛應用，對于大面積高等級的實驗室凈化則存在運行成本過高、占用空間過大等缺點。

　　3.全能型FFU循環系統

　　這種形式的設計可以滿足集成電路制造潔凈室大面積高等級的要求，但這項潔凈工程系統的運行成本較高，并且潔凈室風速、風量調節困難，系統升級改造困難，因此操作靈活性很低。